A expressão de busca foi <related:sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/08.29.15.27.59-0:en:title:2:characterization morphological implantation deposition:structural morphological characterization dlc films deposited plasma immersion ion implantation deposition piii>.
A expressão de busca tem um erro de sintaxe.

Ajuda Avançada dá todos os detalhes de como formar uma expressão de busca.